目的是为了清除系统中的空气及水分，并进一步检查系统在真空情况下的密封性，系统中若混有空气和水分会产生一系列不良后果：由于空气绝热指数大于制冷剂的绝热指数，将导致压缩机排气温度高于制冷剂气休温度；空气进入系统后，制冷剂冷凝压力也会升高；由于空气存在，冷凝器传热管内表面形成的气层起了增加热阻的作用，降低了冷凝器的散热能力；水在系统中与制冷剂作用产生酸性物质，从而腐蚀管道和设备；

真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置（水冷电极）、中间真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下工作。在这种极为不利的条件下工作，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不烧毁。因此，各部件应该根据不同的情况设置水冷装置，以保证真空热处理炉能够正常运行并有足够的使用寿命。采用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会产生辉光放电现象。

真空热处理即真空技术与热处理两个专业相结合的综合技术，是指热处理工艺的全部和部分在真空状态下进行的。真空热处理炉热效率高，可实现快速升温和降温，可实现无氧化、无脱碳、无渗碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。泵油对油扩散泵极限压力的影响很大。如使用3号扩散泵油，其极限压力只能达到10^-5Pa；而改用275硅油，其极限压力能达到10^-7Pa，极限压力提高2个数量级。其次被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化，这就是泵油成分带来的影响。为此用油扩散泵获得超高真空，必须选择性能好的扩散泵油。对扩散泵油的要求是：泵油的相对分子量要大，常温下的节气压要低，热稳定性和抗氧化性要好，凝固点和低温粘度要低，要无毒，耐腐蚀，成本要低。